BSLtech Semiconductor RIEŠENIE
Rozvíjanie vašich odborných znalostí v polovodičovom priemysle si často vyžaduje čisté priestory alebo skrine s laminárnym tokom s vysokou triedou ISO (ISO 5 alebo vyššou). Zaoberáte sa procesmi citlivými na UV žiarenie? Dokonca aj vtedy BSL dodáva správnu čistú miestnosť. Čisté priestory majú kvalitnú povrchovú úpravu stien a sú vybavené osvetlením s UV filtrom. Použitím antistatických (ESD) materiálov a antistatických tyčí na filtračnom systéme sa statický náboj vo vzduchu neutralizuje.
Ak nie je žiaduce odplyňovanie, BSL ponúka čistú miestnosť z neodplyňujúcich materiálov (PU). Táto technológia pochádza z leteckého priemyslu.
Typické procesy v polovodičovom priemysle:
● Ochrana substrátov a kremíkových plátkov
● Výskum EUV
● Zarovnávače masky
● Vákuové nanášanie, nanášanie tenkého filmu
● Tlač aplikácií
● Optika
Front-end a back-end procesy